Die ÖGV bezweckt den Zusammenschluss der auf den Gebieten der Vakuumerzeugung, -messung und -anwendung sowie der Physik, Chemie und Technologie dünner Schichten unter Einbeziehung der an Grenz- und Oberflächen interessierten Personen, Institute und Unternehmungen zur Förderung der Forschung und Entwicklung auf den genannten Gebieten, insbesondere durch Herausgabe von Publikationen, Erteilung von Forschungsaufträgen, Veranstaltung von Vorträgen und Arbeitstagungen, Durchführung von Erfahrungsaustausch und Fortbildungskursen.